张江实验室(中国科学院上海高等研究院)硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发晶舟清洗设备(Cassette Clean)采购项目重新招标国际竞争性招标公开招标公告 2020-10-01
张江实验室(中国科学院上海高等研究院)硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发薄膜应力测量仪采购项目重新招标国际竞争性招标公开招标公告-机电产品招标投标电子交易平台 2019-04-09