竞争性谈判

公告

公告编号：

DZXYGG202104230001

一、采购项目基本情况

采购人：无锡华润上华科技有限公司

采购项目编号：DZCGXY202104230001

采购项目名称：MC续建一期&SEZ机台需求化学品集中供液设备

采购内容或范围：1、投标方应按合同及发包规范及技术规范中要求完成所有的工作内容。包含但不限于：详细设计，质量保证和控制，所有需求设备&配件&材料的制造和购买，运输，拆箱，move in，定位，安装，调试，测试，整改和验收，所有机台管路阀门等的标识，安装现场6S管理，配合业主需求完成相关设备及配套安装量必要的核查，竣工资料，保固，on site & off site设备培训。

2、该项目所需临时设施，办公设施，以及安装调试、测试、验收所需公共设施、材料等，均由承包商负责。

3、化学品集中供液设备包含：H3PO4、4%NH4OH、oxide slurry、 HNO3的全套供应设备，HF15:1供应设备及既有HF15:1设备扩充改造，既有DEV、EBR、HMDS设备扩充及为达成中央供应所需的辅助设备设施。

4、本次所需的化学品供应设备，均须为全新设立的集中供应设备。

5、须根据化学品特性，在对应的特种设备存放房间内设立供应设备，并在生产区域或非生产区域设置配套的输送装置（阀箱、管路等），将工艺需求化学品安全、可控、稳定输送至各需求点。设备设计须达到灵活性、可扩充性、兼容性的要求。

6、所提供的设备应保证化学品供应满足各使用点的需求，包括但不限于稳定的压力与流量，保证每个使用点的化学品均为高品质。

二、供应商资格要求

1.资格要求：须为化学品供应设备制造商，设备须通过SEMI2认证。

2. 投标人业绩要求：1）从2018年至今具备至少一个金额≥700万（含税）的8英吋及以上半导体晶圆厂的化学品集中供液设备销售、安装、调试的项目。

2）从2018年至今具备至少一个电气电路自控改造部分金额≥80万（含税）的8英吋及以上半导体晶圆厂的对冠礼控制科技（上海）有限公司的化学品集中供液系统升级改造或扩充的项目（80万金额不包含供液系统的硬件设施，如供液柜、桶槽、泵、阀门、过滤器、管路等不涉及电气电路自控的部分），并提供项目细项内容及价格组成。

3)从2018年至今具备至少一个金额≥250万（含税）的研磨液中央供应系统（不包含local供应系统）的项目，须提供详细完整的系统配置图、供应能力、三维设计架构图等相关数据，,并提供在用实绩证明。

4）以上项目须提供项目的销售合同文本证明（包含合同首页，合同日期，合同金额，合同付款比例，供货范围，签字页），项目的竣工报告（需发包方盖章或签字）或完工报告（需发包方盖章或签字）或合同规定的至完工的货款支付证明或其他的同等能证明承接该工程且顺利施工完成无误的证明材料（如发票）

三、采购文件的获取

采购文件在招标平台发布，不再另

行线下提供纸质采购文件，凡有意参与者可在本公告期间自行登陆查看和下载采购文件。

四、响应文件的提交

响应文件提交

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报价截止时间：

2021-04-29 10:37:56

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（北京时间

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联系人：陈经理
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