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无锡华润上华科技有限公司MC续建一期&常压EPI需求特气供应系统公告
2021-04-29

竞争性谈判

公告

公告编号:

DZXYGG202104290001

一、采购项目基本情况

采购人:无锡华润上华科技有限公司

采购项目编号:DZCGXY202104290001

采购项目名称:MC续建一期&常压EPI需求特气供应系统

采购内容或范围:1、投标方应按合同及发包规范及技术规范中要求完成所有的工作内容。包含但不限于:详细设计,质量保证和控制,所有需求设备&配件&材料的制造和购买,运输,拆箱,move in,定位,安装,调试,测试,整改和验收,所有机台管路阀门等的标识,施工现场6S管理,配合业主审计需求,完成相关设备及配套安装量的清点,竣工资料,保固,on site & off site设备培训。


2、该项目所需临时设施,办公设施,以及安装调试、测试、验收所需公共设施、材料等,均由承包商负责。


3、特殊气体供应系统包含:NF3、CL2、SIH4、SIF4、NH3、CO、CH2F2、WF6、PH2、0.5%O2/He、N2O、C2F6、C4F8、CF4、HCL、B2H6/H2、PH3/H2、TCS(含bubbler)的供应设备、温控设备、尾气排放处理设备及配套的管路安装、五项测试,以及特气设备运行监控、特气泄漏监控及安全联锁。


4、特殊气体供应系统的规划、布置及所需的建设(包含但不限于基建,电力,动力源需求配置,接地,消防等)。


5、本次所需的特殊气体供应系统,均须为全新设立的集中供应系统。


6、须根据气体特性,在对应的特种设备存放房间内设立供应设备,并在生产区域或非生产区域设置配套的输送装置(气柜、阀箱、bubbler、管路等),将工艺需求的特殊气体安全、可控、稳定输送至各需求点。设备设计须达到灵活性、可扩充性、兼容性的要求。


7、所提供的设备应保证特殊气体供应满足各使用点的需求,包括但不限于稳定的压力与流量,保证每个使用点的特殊气体均为高品质。


8、本次新增的特殊气体相关供气设备须利用现有的特气控制系统实现运行、实时安全监控并满足安全联锁要求。

二、供应商资格要求

1.资格条件:机电工程施工总承包三级或建筑机电安装工程专业承包三级及以上,且具有压力管道安装许可证GC2及以上,所提供之设备须通过SEMI2认证;2. 投标人业绩要求:1)从2018年至今至少承担过合同金额≥600万(含税)的半导体晶圆厂、光伏或液晶面板厂的特殊气体供应工程(须含供气设备);2)从2018年至今至少一个系统电气电路自控监控改造部分金额≥5万(含税)的上海正帆科技股份有限公司的特气供应系统升级改造或扩充的项目(5万金额不包含特气供应系统的硬件设施,如气柜、气架、VMB、阀门、管路等不涉及系统电气电路自控监控的部分),项目细项内容及价格组成;3)从2018年至今承接过外延用TCS中央供应系统的设备供应及安装项目;4)以上三项需要提供项目的销售合同文本证明(包含合同首页,合同日期,合同金额,合同付款比例,供货范围,签字页),项目的竣工报告(需发包方盖章或签字)或完工报告(需发包方盖章或签字)或合同规定的至完工的付款证明或其他的同等能证明承接该工程且顺利施工完成无误的证明材料(如发票)3.项目经理:机电工程注册建造师二级;4.安全员具备住建部门颁发的安全员C证;

三、采购文件的获取

采购文件在招标平台发布,不再另

行线下提供纸质采购文件,凡有意参与者可在本公告期间自行登陆查看和下载采购文件。

四、响应文件的提交

响应文件提交

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报价截止时间:

2021-05-07 17:06:54

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(北京时间


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