1、招标条件
项目概况:用于12英寸集成电路生产企业的原子层沉积氧化铝炉工艺，满足28nm及以下的工艺研发及量产需求。
用于12英寸集成电路生产企业的键合退火工艺，满足28nm及以下的工艺研发及量产需求
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于铜化学机械研磨设备（顶层金属层）
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:0613-184022080710/01
招标项目名称:原子层沉积氧化铝炉
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 原子层沉积氧化铝炉 | 1台 | 用于12英寸集成电路生产企业的原子层沉积氧化铝炉工艺，满足28nm及以下的工艺研发及量产需求。 | |
| 2 | 键合退火炉 | 1台 | 用于12英寸集成电路生产企业的键合退火工艺，满足28nm及以下的工艺研发及量产需求 | |
| 3 | 铜化学机械研磨设备（顶层金属层） | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于铜化学机械研磨设备（顶层金属层） |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；
2）投标人或投标货物的制造商须具备向12英寸集成电路制造企业提供此类设备的供货和安装调试经验；
3) 法律、行政法规规定的其他条件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-03-18
招标文件领购结束时间:2018-03-23
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
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联系人：陈经理
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电话：010-89940160
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