一、项目基本情况

项目编号：0834-2141SH21A032

项目名称：上海交通大学电子信息与电气工程学院气相氟化氢刻蚀系统

预算金额：200.0000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：200.0000000 万元（人民币）

采购需求：

序号	货物名称	数量	简要技术规格	交货期	交货地点
1	气相蒸汽刻蚀机	1台	1. 可支持4/6/8英寸晶圆工艺 2. 刻蚀程序自动控制，刻蚀速率大于100 Å/min。 3. 片内均匀性：≤5%，Max-Min/2*Average； 片内重复性：≤5%，Max-Min/2*Average。 4. 尾气处理系统HF吸附率：>99%；无HF尾气泄漏。 （详见第八章）	合同签订后3个月内	关境外货物： CIP上海交通大学 关境内货物： 上海交通大学

合同履行期限：合同签订后3个月内

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无，国际招标

3.本项目的特定资格要求：1）具有独立的法人资格，相应的经营范围；2）投标人是专业生产本次所需设备的制造商，或由制造商指定一个代理商作为本次投标的唯一授权代理；3）投标人提供的投标机型应是原产地的全新产品；4）投标人必须在机电产品招标投标电子交易平台上注册，网址：http://www.chinabidding.com注册成功后还须通过网站的验证；5）不接受联合体投标；6）已购买本招标文件。

三、获取招标文件

时间：2021年02月09日  至 2021年02月22日，每天上午9:30至11:30，下午13:00至16:00。（北京时间，法定节假日除外

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联系人：陈经理
手机：13611390867
电话：010-89940160
邮箱：kefu@dljczb.com
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