一、项目基本情况

项目编号：清设招第2020012号

项目名称：清华大学电子束曝光系统

预算金额：250.0000000 万元（人民币）

采购需求：

包号	名称	数量	是否允许进口产品投标	采购预算 （人民币）
01	电子束曝光系统	1套	是	250万元

设备用途介绍 ：

用于低维量子材料器件制备。

简要技术指标 ：

电子枪基本参数：二次电子分辨率≤1.0nm@15kV，≤1.6nm@1kV（无样品台减速模式下的标准模式）；标准模式下加速电压和着陆电压可调范围均不小于20V~30kV，加速电压以10V为步进，连续可调；

配置全自动五轴马达驱动样品台，样品台最大行程X轴≥125mm，Y轴≥125mm，Z轴≥50mm，倾转范围不小于-10°~90°，可360°旋转；

配置镜筒内高分辨二次电子探测器和样品室内二次电子探测器。

合同履行期限：交货时间：合同签订后3个月内

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求： 1）在中华人民共和国境内注册； 2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件； 3）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动； 4）不接受联合体投标； 5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动； 6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动； 7）必须购买招标文件并登记备案，否则没有资格投标。

三、获取招标文件

时间：2021年03月10日  至 2021年03月17日，每天上午8:00至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外

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联系人：陈经理
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