序号产品名称数量简要技术规格备注品目1感应耦合等离子体刻蚀设备3套高密度等离子刻蚀机稳定可靠、工艺性能卓越、兼容性优良，主要用于200mm基片半导体制造工艺中的硅刻蚀、介质刻蚀、金属以及III-V族材料等刻蚀工艺。交货期合同生效后4个月内品目2ICP刻蚀腔1套感应耦合等离子体刻蚀机具有稳定可靠的工艺性能、宽阔的工艺窗
本招标项目仅供正式会员查看，您的权限不能浏览详细信息,请注册本网会员并成为正式会员后可下载详细的招标公告、报名表格、项目附件和部分项目招标文件等。
联系人：陈经理
手机：13611390867
电话：010-89940160
邮箱：kefu@dljczb.com
QQ：2830892928
请登录查看