1、招标条件
项目概况:包2电子束曝光系统 包3双束电镜 包4光刻机
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-1840SUMECL31/02
招标项目名称:电子束曝光系统
项目实施地点:中国江苏省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 包2 | 电子束曝光系统 | 1台 | 最小束斑直径：1.7nm | |
| 包3 | 双束电镜 | 1台 | 电子能量分辨率≤0.2eV，保证图像清晰 | |
| 包4 | 光刻机 | 1台 | 具有稳定可靠的三轴式芯片厚度补偿系统，可对芯片进行自调平和真空吸附 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人如为代理商，则必须提供企业法人营业执照副本； 2、投标人如为代理商，则必须提供该设备制造商出具的授权函正本，或制造商的国内全资子公司授权函正本，或制造商授权的区域代理商的授权函正本 3、投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或该原件的复印件；
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-12-19
招标文件领购结束时间:2018-12-26
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
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联系人：陈经理
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