1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目购买一批工艺生产设备
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-194022150948/06
招标项目名称:缺陷扫描仪及缺陷检测仪
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 高真空离子镀膜金属溅射机/ SIP TTN PVD 高真空离子镀膜金属溅射机/ Metal Dep Ti/Al/Cr/Au PVD | 2台 | 1、实现片内高均匀性的金属薄膜沉积(高真空离子镀膜金属溅射机/（SIP TTN PVD) 2、实现片内高均匀性的金属薄膜沉积高真空离子镀膜金属溅射机/（Metal Dep Ti/Al/Cr/Au PVD) | |
| 2 | 化学机械抛光机/CMP Oxide 化学机械抛光机/CMP STI(Direct STI) | 2台 | 1、实现wafer上Oxide研磨 2、实现片内SIN上的Oxide研磨 | |
| 3 | 化学气相沉积机/CVD(HDP USG) 化学气相沉积机/CVD(HT Nitride Dep) 化学气相沉积机/CVD(IDL BPSG) 化学气相沉积机/CVD(Normal PE TEOS) 化学气相沉积机/CVD(SA CVD TEOS) 化学气相沉积机/CVD(Silane based PEOX/SIN/DRAC) 化学气相沉积机/CVD(W CVD) | 8台 | 1、实现片内高均匀性的薄膜沉积(HDP USG) 2、实现片内高均匀性的Nitride薄膜沉积 3、实现片内高均匀性的薄膜沉积(BPSG) 4、实现片内高均匀性的薄膜沉积(Normal PE TEOS) 5、实现片内高均匀性的薄膜沉积(SA CVD TEOS) 6、实现片内高均匀性的薄膜沉积(Silane based PEOX/SIN/DRAC) 7、实现片内高均匀性的薄膜沉积(W CVD) | |
| 4 | 金属刻蚀机/AL Metal Etch 介质刻蚀机/oxide etch BE 氧化层刻蚀机/Oxide etch FE 钨刻蚀机/CT W EB | 4台 | 1、实现wafer上铝金属刻蚀/ AL Metal Etch 2、实现wafer上Oxide刻蚀/ oxide etch BE 3、实现wafer表面氧化层刻蚀/ oxide etch FE 4、实现wafer上钨金属刻蚀/ CT W EB | |
| 5 | 氢离子注入机/H+ Implanter | 1台 | 实现H+离子注入晶圆内部，达到总剂量，厚度分布及均匀性指标 | |
| 6 | 缺陷扫描仪/Semvision G3 FIB 缺陷检测仪/Complus 3T | 2台 | 实现0.1um 级别Sem Review 以及FIB 实现0.2um 级别DFI defect scan | |
| 7 | 外延机/ EPI 快速热退火机/Rapid Thermal Annel | 4台 | 外延化学气相沉积 实现晶圆快速热退火，修复表面晶格损伤，激活掺杂物火星 均匀性好 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。With independent legal person qualification, the corresponding business scope. Bidders should have formal registration office, repair and spare parts bonded library. Within the territory of China shall be responsible for the experienced maintenance engineers and specialized technical application support engineer. 2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。Provided by the machine equipment needed in the industry have experience of installation.
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2019-03-30
招标文件领购结束时间:2019-04-08
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
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联系人：陈经理
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电话：010-89940160
邮箱：kefu@dljczb.com
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