1、招标条件
项目概况:1台/套 非图形晶圆表面颗粒扫描设备
资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实
项目已具备招标条件的说明:拟采购的设备已通过进口论证
2、招标内容
招标项目编号:0705-194118101823
招标项目名称:张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发非图形晶圆表面颗粒扫描设备采购项目重新招标
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 非图形晶圆表面颗粒扫描设备 | 1 | 可测量样品尺寸：200毫米晶圆。 照明：直射照明和倾斜照明。 缺陷灵敏度： i) ≧0.077 um diameter PSL sphere(直射照明). ii) ≧0.060 um diameter PSL sphere (倾斜照明). iii) >95% 的捕获率。 重复性：缺陷数小于4000(x)<√(1/x)*100%,小于0.300μm的calibrated PSL sizes≤1%。 晶圆传送：仅可接触晶圆背面，无金属接触。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1） 投标人须是投标货物的制造商，或是取得有效授权的代理商。并向所在地检验检疫机构申请登记；若是代理商，须提供由投标货物制造商出具的针对本项目的书面唯一授权书及售后服务授权书； 2） 投标货物必须是全新设备，投标人必须在其投标文件中对投标货物明确说明； 3） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的（以下简称电子交易平台，网址为：）上完成有效注册（由于电子交易平台的注册审核需要一定时间，如投标人在决定参加本项目投标后请尽早登录该网站查询自身是否已经处于有效注册状态，以免因临近投标截止时间再来办理注册事宜而影响正常投标）； 4） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织（须提供营业执照或其他相关登记证明文件）； 5） 投标人近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉（须提供承诺书）； 6） 投标人应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，投标人须具有非图形晶圆表面颗粒扫描设备的整机直接供货和装机经验（须提供机台验收证明文件或用户证明文件）； 7） 投标人提供的投标货物必须为自有机台，须提供自有机台真实性证明（机台所属证明，down-payment，不接受LOI），投标人须在招标人提出要求后的3天内接受招标人对机台真实性的现场查验； 8） 本项目不接受联合体投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2019-07-17
招标文件领购结束时间:2019-07-24
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
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联系人：陈经理
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