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甬江实验室采购氟化氢干式刻蚀机和二氟化氙干法刻蚀机项目国际招标公告(1)
2024-01-16

受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024年1月16日在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

项目概况:甬江实验室因发展需要,需采购氟化氢干式刻蚀机和二氟化氙干法刻蚀机。

资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。

    项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。

2. 招标内容:

招标项目编号:0762-2441CBNB2002

招标项目名称:甬江实验室采购氟化氢干式刻蚀机和二氟化氙干法刻蚀机项目

项目实施地点:中国浙江

招标产品列表(主要设备):

序号

货物名称

数量

简要技术规格

备注

1

氟化氢干式刻蚀机

1套

系统主要由控制系统、真空系统、工艺腔室、工艺气体配送管路和控制系统、终点监控,电源控制系统等部件组成。

/

2

二氟化氙干法刻蚀机

1套

系统主要由控制系统、真空系统、工艺腔室、工艺气体配送管路和控制系统、电源控制系统等部件组成。

/

3. 投标人资格要求

3.1特定资格条件:

3.1.1投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商,如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书;

3.2本项目不接受联合体投标。

3.3未领购招标文件不可以参加投标。

4. 招标文件的获取

招标文件领购开始时间:2024年1月16日,上午:8:30-11:30 ;下午:13:30-17:00。

招标文件领购结束时间:2024年1月23日17:00(北京时间


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联系人:陈经理
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