1. 招标条件

本招标项目6*60cm射频离子源招标人为中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对6*60cm射频离子源采购进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20240901A019

2.2 招标项目名称：6*60cm射频离子源。

2.3 数量：1套。

2.4 本离子源用于大口径光学表面的离子束刻蚀，总体上要求具有较好的稳定性和可控性。在离子束刻蚀过程中，离子源需连续发射出离子束流，同时能够避免由于刻蚀产物的掉落、挥发，离子源自身温度的提升等因素造成的离子源故障。在离子束刻蚀过程中，样品连续运动而不影响离子源的工作稳定性，离子源能连续工作且发射出稳定的离子束流。离子源电源的工作参数及开关能够通过总线或串口控制。

序号	货物名称	数量	交货期	交货地点	备注
1	6*60cm射频离子源	1套	合同生效后4个月，1个月内安装调试完成	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

2.4.1束流尺寸≥6*60cm矩形束流射频离子源；

2.4.2栅网形式：三栅准直型；

2.4.3射频型离子源工作气体：氩气、三氟甲烷等反应气体；

2.4.4射频功率：≥1000W；

2.4.5连续免维护工作时间：≥100小时

2.4.6无灯丝中和器。

2.5 交货地点：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所。

2.6 交货期：合同生效后4个月，1个月内安装调试完成。

3. 投标人资格要求

3.1 本次招标要求投标人为独立法人单位，并具有与本招标项目相应的供货能力。

3.2本次招标不接受联合体投标。

3.3本次招标不接受代理商投标。

3.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1凡有意参加投标者，请于2024年7月29日至2024年8月5日17时(北京时间)，登陆平台（网址：,注册操作咨询电话010-86397110）购买并下载招标文件，现场不予受理。

4.2 招标文件每套售价800元(从平台下载电子发票），售后不退。

本招标项目仅供正式会员查看，您的权限不能浏览详细信息,请注册本网会员并成为正式会员后可下载详细的招标公告、报名表格、项目附件和部分项目招标文件等。
联系人：陈经理
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