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甬江实验室采购低压化学气相沉积设备项目 - 国际招标澄清或变更公告
2024-08-27

澄清或变更简要说明:

1、“表B 技术规格表”中如下技术参数变更:
1.1、“序号2.5.1”原为:2根LPCVD炉管分别配备2台干泵(干泵参考品牌:Edwards、Ebara或Pfeiffer),投标人需在投标文件中注明所投干泵的品牌,现变更为:2根LPCVD炉管配备2台干泵(每根一台)(干泵参考品牌:Edwards、Ebara或Pfeiffer),投标人需在投标文件中注明所投干泵的品牌;
1.2、“序号2.5.2”原为:LPCVD炉管本底真空≤5mtorr,漏率≤6mtorr/min,从大气状态抽至本底真空时间≤8min(管路长度小于3m,且无弯曲),现变更为:LPCVD炉管本底真空≤5mtorr,漏率≤6mtorr/min,从大气状态抽至本底真空时间≤8min(管路长度小于3m,且无弯曲条件下);
2、投标截止时间(开标时间)原为:2024年9月4日9时00分(北京时间


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