受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年10月24日在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机各1套。

资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。

项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。

2. 招标内容：

招标项目编号：0762-2440CBNB2033  

招标项目名称：甬江实验室采购半自动槽式SPM清洗机等五项设备项目

项目实施地点：中国浙江

招标产品列表（主要设备）：

序号	货物名称	数量	简要技术规格	备注
1	半自动槽式SPM清洗机	1套	高温SPM工艺主要用刻蚀以及离子注入之后的有机物清洗。	/
2	半自动槽式有机清洗设备	1套	主要用于金属刻蚀或其他器件干法刻蚀后光刻胶的去除或清洗工艺。	/
3	手动片盒清洗机	1套	对所使用的晶圆片盒进行定期清洗。	/
4	半自动槽式KOH刻蚀机	1套	常用于硅片表面V型槽刻蚀、金字塔或者倒金字塔结构刻蚀等应用。	/
5	半自动槽式BOE刻蚀机	1套	主要用于半导体器件制造过程中的SiO2 湿法刻蚀以及清洗工艺。	/

*备注：投标人必须对表中所有货物进行投标，否则作无效标处理。

3. 投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩：投标人必须是投标产品（半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机）的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；

是否接受联合体投标：不接受；

未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。

4. 招标文件的获取

招标文件领购开始时间：2024年10月24日

招标文件领购结束时间：2024年10月31日

招标文件领购地点：（宁波鄞州区天童南路666号中基大厦19楼前台，联系人：李小姐，联系电话：0574-88090098，电子邮箱：719126619@qq.com）；或在线购买，购买地址链接：https://dwz.cn/BzVsB93Q（此链接仅限于人民币支付）

招标文件售价：每标段售价500元人民币或80美元，售后不退

本招标项目仅供正式会员查看，您的权限不能浏览详细信息,请注册本网会员并成为正式会员后可下载详细的招标公告、报名表格、项目附件和部分项目招标文件等。
联系人：陈经理
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