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深紫外光学元件超净无损清洁设备-公开招标公告
2025-06-06

1. 招标条件

本招标项目深紫外光学元件超净无损清洁设备招标人为中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,招标项目资金来自国拨资金,出资比例为100%。该项目已具备招标条件,现对深紫外光学元件超净无损清洁设备进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号:ZKX20250901A010

2.2 招标项目名称:深紫外光学元件超净无损清洁设备。

2.3 数量:1套。

2.4 项目简介:该项目包含1套预清洗模块,1套全自动清洗干燥模块,1套超纯水系统以及配套工装治具等构成。

该清洗机主要由封闭式机架、清洗槽、超声波、兆声波、紫外臭氧、自动搬运机械手、循环管道、给排水管道以及电气控制系统等组成。

2.5 交货地点:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所。

2.6 交货期:签订合同后3个月内具备最终验收条件。

3. 投标人资格要求

3.1 投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织,具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2投标人应提供关于半导体parts cleaning的供货业绩证明材料1份。注:合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订日期、标的物名称、项目建设内容等主要工作,未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。

3.3本次招标不接受联合体投标。

3.4本次招标不接受代理商投标。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1凡有意参加投标者,请于2025年6月6日至2025年6月13日17时(北京时间),登陆平台(网址:,注册操作咨询电话010-86397110)购买并下载招标文件,现场不予受理。

4.2 招标文件每套售价800元(从平台下载电子发票),售后不退。


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联系人:陈经理
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