润芯感知科技(南昌)有限公司 |
离子注入机采购1台 |
招标公告 |
招标公告(Z)TZBGG2025060044号 |
根据项目进度,润芯感知科技(南昌)有限公司离子注入机采购1台已具备招标条件,现进行公开招标。 一、项目基本情况 招标人:润芯感知科技(南昌)有限公司 建设地点:江西省南昌市高新技术开发区天祥北大道588号高新微电子产业园 项目规模:采购1台GSD200E离子注入机 项目资金来源:自筹 招标编号:T11002325SZ0002 项目名称:润芯感知科技(南昌)有限公司 标段名称:离子注入机采购1台 招标内容和范围:为拓展MEMS产品线,达成商业计划的需要,新购1台离子注入设备,主要用于 B、P、As、BF2 等元素注入, 剂量范围在 5E11-1E16 ions/cm2 之间,能量 5-180keV。产品尺寸为150mm,圆片厚度为400~800um(采用standard disk),设备需具备升级8寸的能力。 交货期/工期:中标供应商应在合同签订后150个自然日内将设备交付到我司工厂。 注:详细内容见招标文件,以招标文件为准。 二、投标人资格能力要求 1.资格要求:需要完全响应我司设备发包规范,且提供设备主要部位照片(含有铭牌照片) 备注: 三、招标文件的获取 (一)获取时间 2025年06月13日- 2025年06月20日 (二)招标文件获取方式 在招标平台(https://www.szecp.com.cn)在线下载,不接受来人现场领取。 (三)投标人提问截止时间 2025年06月24日 17:00 四、截标/开标时间、地点 截标/开标时间:2025/06/30 09:00:00(北京时间 |
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